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矽翔微机电系统有限公司(矽翔公司,Siargo Ltd. )2003年成立于美国加州硅谷。矽翔公司设计和生产具有自主知识产权、低功耗、超大量程MEMS气体流量计,核心部件MEMS流量芯片及其专利封装技术由公司自主研发,可用于各类气体流量计量和测控。近年来公司发明了热飞行时间微流测控技术、场压力传感技术和MEMS涡街流量技术,为传统的流体计量带来了根本性变革,提供了全新的拓展空间。
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